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第477章 新光刻机 上市？（第2页）

楚千澜微微颔首，目光始终锁定在屏幕上的流片数据：“不能松懈，但那些国外没有禁售的元件也不用着急。

28纳米光刻设备是关键节点，海外巨头完成研发的时间也不长。我们的成功，代表着深蓝半导体彻底跻身于国际先进行列。下一步，就是研发出20纳米的光刻机，彻底脱颖而出。”

楚千澜的话音落下，车间内的技术人员们眼中皆燃起炽热的光芒。

从45纳米到28纳米，深蓝半导体用短短一年时间完成了国际巨头数年才能走完的迭代之路，这份速度与实力，足以让每一个参与者自豪。

张北光攥着数据平板的指尖微微泛白，眼中燃起更盛的斗志：“楚总放心！我们正在定制20纳米光刻设备的研发方案。通过女娲系统的推演，已经有了研发方向。”

楚千澜微微颔首，目光扫过车间内忙碌的技术团队。

28纳米产线的机械臂正按预设程序精准运转，淡紫色的极紫外光束如同精准的手术刀，在晶圆表面刻画出细密的电路纹路。

每一片完成流片的晶圆都被小心翼翼地送入检测设备，屏幕上的良率曲线平稳上扬。

两小时后，首批100片28纳米晶圆全部完成流片。

王世杰刷新数据平板，声音带着抑制不住的振奋：“楚总，最终良率稳定在93.7%，连续100片无任何设备故障，稳定性完全达标！而且线宽误差控制在±0.0018微米，比设计标准提升了10%。”

楚千澜接过数据平板，眸色沉静却难掩锋芒。

现在就达到了93.7%的良率，等以后各种条件再成熟一些，良率还能在提升几点。

“很好。”他抬眼看向王世杰与张北光，语气带着明确的指令，“良率达标只是起点，接下来还要测试设备的其他性能。

你们将生产出来芯片送到星源探索与繁星科技，等确认芯片没有问题后，就量产一部分，顺便测试光刻设备。”

王世杰点头应道：“明白！我这就安排物流，将首批28纳米芯片样本送往星源探索与繁星科技，同步启动设备连续运转测试。”